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半导体学报 2009
PZT薄膜三方-四方相变的拉曼散射研究Abstract: 拉曼散射是研究薄膜相变的一种有效方式,此篇文章采用溶胶-凝胶法制备PZT薄膜,并以差热实验为基础确定退火温度,并用拉曼散射研究三方-四方相变趋势。分析结果表明中频区域的A1(2TO)振动模,作为四方相的一个标志,随着退火温度的升高其强度逐渐增强,三方在向四方转变;高频范围的A1(3TO)T振动模随着退火温度的升高其强度也在逐渐增强,三方晶胞在减少而四方晶胞在增多,即随着退火温度的升高,三方有向四方转变的趋势。
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