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半导体学报 2013
Effects of seed layer on the performance of microcrystalline silicon germanium solar cells
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Abstract:
采用射频等离子体增强化学气相沉积技术,沉积一层种子层作为生长微晶硅锗本征层的起始层。研究了不同种子层对微晶硅锗本征层结构和对微晶硅锗太阳电池性能的影响。结果表明,将种子层应用到微晶硅锗电池中,可以显著提高电池的短路电流密度和填充因子,使微晶硅锗电池即使在本征层锗含量为30%的情况下,同样可以获得与微晶硅电池一样的短波响应。最后,经过优化制备出了初始效率为7.05%的微晶硅锗单结太阳电池。