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Keywords: 半导体器件,高压终端结构,场分析
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本文从全新的角度出发,提出了在高压终端结构数值场分析中运用边界元的基本方法,并通过典型算例讨论了数值解的精度等基本特征。与差分和有限元方法相比,边界元具有精度高,方法简便,特别适用于高压等明显优点。
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