Study of Translucent AlN Ceramics
透明氮化铝陶瓷研究的新进展

氮化铝（AIN）陶瓷是近年来受到广泛关注的新一代先进陶瓷，有着广泛的应用前景．由于AIN陶瓷的高热导性和低电导率、介电常数和介电损耗，使之在大功率微电子领域成为高密度集成电路基板和封装的理想候选材料，具有巨大的潜在应用市场．但是普通AIN陶瓷因为相对低的纯度和烧结性而不能满足高热导的期望．国际上关于AIN透明陶瓷的报道极少1，2]，而国内尚未见报道．最近我们开展了透明氨化铝陶瓷材料的烧结及其热性能和结构的表征研究．从研究氨化铝低温烧结所需的烧结助剂出发，根据在不同烧结助剂体系下，氨化铝表现出的不同烧结行…