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OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
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Electrical and Optical Properties of Transparent and Conductive Sb-Doped SnO2 Films
掺杂SnO2透明导电薄膜电学及光学性能研究

Keywords: Sb-doped SnO2 thin films,conductivity measurements,transmittance and reflectivity
Sb
,掺杂,SnO2薄膜,导电性,测量,透光度,反射率,电学性能,二氧化锡,半导体材料,,光学性能

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Abstract:

通过实验测量sol-gel工艺制备的Sb掺杂SnO2薄膜载流子浓度、迁移率、电阻率、膜厚、紫外-可见光区透射率,反射率等性质,详细研究了Sb掺杂SnO2薄膜电化学与光学性能,实验发现,薄膜具有良好的透光性和较高导电性,膜内载流子浓度高达10^20cm^-3,电阻率-10^-2Ω.cm, 透光率高达90%,SnO2膜禁带宽度Eg=3.7-3.80eV.

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