Resistance Gas Sensitivity and nansmittance Gas Sensitivity of SnO2 Thin Film by a Novel Sol-Gel Method
二氧化锡薄膜的电阻气敏和光透射率气敏性能

以无机盐为原料，采用新颖的溶胶－凝胶工艺制备了具有优良电阻－气敏性能的纳米晶二氧化锡薄膜，其在最佳工作温度２００℃对６００ｐｐｍＣＯ的灵敏度可达５００，响应时间和恢复时间分别为１３ｓ和２０ｓ，进一步研究了薄膜的光透射率－气敏性能，发现当通ＣＯ时，透射率下降，最佳工作温度与电阻－气敏性能一致，当提高薄膜的退火温度时，电阻－气敏和光透射率－气敏的灵敏度均下降，分析了产生这些现象的原因。