Displacement Characterization of the PZT-based Monolithic Multilayer Piezoelectric Actuators
PZT系多层片式压电陶瓷微驱动器位移性能研究

采用陶瓷坯膜流延成型和陶瓷坯膜／金属内电极共烧技术，制作了多层片式高含铅ＰＺＴ软性压电陶瓷微驱动器，该器件具有体积小，工作电压低，位移量大的特点，本文对制作 的多层片式器件在直流和单向交流工作电压的作用一产生和静态和动态位移特性，从ＰＺＴ压电陶瓷材料的晶体和电畴结构特点进行了和研究。