Preparation and Structure Characterization of YSZ Film by Sol-Gel Method
YSZ薄膜Sol-Gel法制备及其结构分析

Keywords: Sol-Gel method,YSZ films,preparation,crack
YSZ薄膜,薄膜,结构分析,溶胶凝胶法

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Abstract:

本文应用Ｓｏｌ－Ｇｅｌ方法制备了ＹＳＺ薄膜，研究了工艺条件对薄膜生观结构的影响，实验发现：基片的选择和清洁，样品的凝胶化速度，热处理过程中的升了温速率等是影响薄腊工裂的几个主要因素。

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