Combustion Chemical Deposition Preparation and Crystallization of Nanocrystalline
燃烧化学沉积纳米α- Al2O3薄膜及晶化处理

提出了沉积纳米陶瓷薄膜的一种新方法－燃烧化学沉积法。该方法省去了真空条件，直接在空气中沉积纳米陶瓷薄膜。其主要特点是将配制好的初始液体雾化，让该液雾穿过高温火焰流体。初始液体在火焰流中发生化学反应，并形成反应火焰流，该反应火焰流体系在火焰流的前方基底上沉积出纳米陶瓷薄膜，然后再通过热处理进行晶化处理，使形成晶态相。本文以制备α-Al2O3纳米薄膜为例，介绍用该方法的制备过程，并用SEM和TEM分析了α-Al2O3纳米薄膜的显微形貌和结构。