Molecular dynamics simulation of low-energy sputtering of Pt (111) surface by oblique Ni atom bombardment
Ni原子倾斜轰击Pt（111）表面低能溅射现象的分子动力学模拟

采用嵌入原子方法的原子间相互作用势,通过分子动力学模拟详细研究了以不同角度入射的低能Ni原子与Pt（111）基体表面相互作用过程中的低能溅射行为.结果表明：随着入射角度从0°增加到80°,溅射产额Ys和入射原子钉扎系数S的变化均可以根据入射角θ近似地分为以下三个区域：当θ≤20°时,Ys和S几乎保持不变,其值与垂直入射时接近,溅射原子的发射角分布和能量分布也与垂直入射时的情况类似;当θ≥60°时,Ys≈0,S≈0;在20°≤θ≤60°的范围内,钉扎系数呈现减小的趋势,溅射产额呈现先增大后减小的趋势,溅射原子的发射角分布和能量分布均与θ≤20°时的情况有一定的差异.通过对入射原子和被溅射原子运动轨迹的跟踪,分别给出了不同入射角度范围内的低能溅射机理及入射原子与基体表面的相互作用机理,斜入射与垂直入射时的低能溅射机理存在一定的差异,也不同于基于二体碰撞理论得到的溅射模型.