Investigation of Si film anode prepared by ion beam assisted deposition
离子束辅助沉积硅薄膜负极材料的研究

采用离子束辅助沉积法制备了锂离子电池硅薄膜负极材料，研究了硅薄膜的晶体结构、表面形貌和电化学性能.研究结果表明：硅薄膜是非晶态的结构；非晶态硅薄膜发生嵌脱锂反应的电位分别为0.03 V与0.34 V和0.16 V与0.49 V；硅薄膜表现出很高比容量和充放电效率，其可逆比容量和库仑效率分别为3134.4 mAh/g和87.1％；硅薄膜具有优异的循环性能，在0.5C倍率下200次循环后容量保持率为92.2%.