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物理学报 2009
Performance test and closed-loop correction experiment of a 20-element bimorph deformable mirror
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Abstract:
测试了20单元双压电片变形镜的影响函数、变形量-电压特性曲线、面形热稳定性和频率响应特性，并搭建基于20单元双压电片变形镜和13×13阵列哈特曼传感器的自适应光学系统，测试了该变形镜对自身初始面形和静态像差板的闭环校正效果.实验结果表明，各分立电极变形量对加载电压的平均灵敏度为0.57 μm/100 V，离焦电极的灵敏度为1.09 μm/100 V；各电极变形量-电压响应曲线均存在迟滞现象，滞后量在最大变形量的10%以内；在温度引起的双压电片变形镜面形变化中离焦项贡献最大，其变化对温度也最为敏感，在13℃
