Microparticles manipulation based on dielectrophoresis in microsystem
面向微系统的介电泳力微纳粒子操控研究

微系统中低浓度微纳粒子的操控技术亟需改进和完善，介电泳（dielectrophoresis） 在这一领域具有很大的潜力. 以介电泳基本原理分析为基础，推导了介电泳力的复数表达式. 综合分析了影响传统介电泳力和行波介电泳力的主要因素，并建立星型电极和平行电极阵列的二维理论模型，分别作为传统介电泳力和行波介电泳力的微纳粒子操控结构. 设置相应的边界条件，利用实部、虚部耦合求解的方法，仿真计算两种电极上的介电泳力分布规律，为实验提供参数依据. 以传统介电泳力为基础，利用星型电极进行微纳粒子收集实验；以行波介电泳