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ISSN: 2333-9721
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物理学报  2010 

Fabrication and properties of large area Tl2Ba2CaCuO8 superconducting thin film on sapphire substrate
蓝宝石基片上制备大面积Tl2Ba2CaCu2O8超导薄膜

Keywords: Tl-2212 superconducting thin film,CeO2 buffer layer,sapphire substrate
Tl-2212超导薄膜
,CeO2缓冲层,蓝宝石基片

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Abstract:

在2英寸双面蓝宝石基片上采用CeO2作为缓冲层制备了高质量Tl2Ba2CaCu2O8(Tl-2212)超导薄膜.以金属铈作为溅射靶材,采用射频磁控反应溅射法生长了c轴织构的CeO2缓冲薄膜,并研究了不同生长条件对于CeO2缓冲层的晶体结构及表面形貌的影响.超导薄膜采用直流磁控溅射和后热处理的方法制备.扫描电子显微镜(SEM)图像显示,超

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