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ISSN: 2333-9721
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物理学报  2009 

The influence of doposition conditions on the structrure of ZnTe/ZnTe:Cu thin films and the properties of CdTe cells
沉积条件对ZnTe/ZnTe:Cu薄膜结构及CdTe电池性能的影响

Keywords: polycrystalline ZnTe film,deposition temperature,structure of films,device performance
ZnTe多晶薄膜
,沉积温度,薄膜结构,器件性能

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Abstract:

用共蒸发法沉积了ZnTe/ZnTe:Cu复合多晶薄膜,通过XRD,XPS,C-V,I-V等研究了沉积温度对薄膜结构、Cu浓度分布及电池性能的影响.结果表明,沉积温度对薄膜的结构影响不明显,薄膜呈立方相,经185 ℃退火后出现了六方相.对薄膜的剖析发现,Cu浓度分布呈现先上升到一极大值而后快速下降的趋势, 100 ℃沉积的ZnTe/ZnTe:Cu薄膜,ZnTe层起到了阻止Cu扩散作用,用这种薄膜制作的太阳电池XD较大

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