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物理学报 2008
Effect and mechanism of water on carbon nanotubes growth
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Abstract:
利用介质阻挡放电等离子体化学气相沉积技术，在蒸镀有25nm Ni催化剂层的Si基片上，以CH4和H2作为反应气体，在973K下制备了碳纳米管，并研究了微量水的引入对碳纳米管形貌的影响.场发射扫描电子显微镜结果表明，不加水时，制备出的碳纳米管直径不均匀，分布在40—90nm之间，呈链节状的结构；加入少量水时，制备出的碳纳米管直径比较均匀，集中在70nm左右，表面为瘤状结构；当水的流量进一步增加时，得到的碳纳米管表面光滑，出现了枝状结构.原位测量了加水前后等离子体区的发射光谱，分析了微量水的引入对于碳纳米管形貌变化的影响机理.
