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ISSN: 2333-9721
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物理学报  2007 

Fabrication of nonpolar ZnO film on y-LiAIO2 substrate and its photo-luminescence properties
γ-LiAlO2上非极性ZnO薄膜制备及其光谱性质研究

Keywords: nonpolar ZnO,y-LiAlO2,PLD,transmission spectrum
非极性ZnO
,γ-LiAIO2,PLD,透射谱

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Abstract:

利用激光脉冲沉积(PLD)技术在(302)γ-LiAIO2衬底上成功生长了非极性的a面(112^-0)γZnO薄膜.衬底温度为350℃时,薄膜是混合取向(a向和C向),以c面ZnO为主,且晶粒尺寸分布很宽;提高温度达500℃,薄膜变为单一的(1120)取向,摇摆曲线半高宽O.65^o,晶粒尺寸分布趋窄,利用偏振透射谱可以明显看出其面内的各向异性.衬底温度650℃下制备的样品晶粒继续长大,虽然摇摆曲线半高宽变大,但光致发光谱(PL)带边发射峰半高宽仅为105meV,比在350℃,500℃下制备的样品小1/5.

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