Experimental studies on the properties of the discharge modes in a cylindrical radio frequency inductively coupled plasma
柱面天线射频感性耦合等离子体放电模式特性的实验研究

利用Z-scan、电流、电压探头，通过测量等离子体吸收功率、天线电流、电压、等离子体直流悬浮电位等多种参数，研究了匹配网络、天线耦合强度、导电地面积、气压等多种因素对E,H放电模式特性及模式转化行为的影响.基于Γ型阻抗匹配网络中串联电容对射频电源输出功率的影响，提出了E—H放电模式转化的正负反馈区概念.研究发现：在相同的其他放电条件下，处于正反馈区时等离子体放电易于产生跳变型模式转化，而且模式跳变的临界天线电流、回滞宽度、跳变临界功率、跳变功率差等参数均随阻抗匹配网络参数产生明显变化；在负反馈区内，模式转化过程趋于连续.由于阻抗匹配网络的影响，E—H模式的跳变电流并不是总大于H—E模式的跳变电流.在不同导电地面积、阻抗匹配网络、气压下，模式转化过程中等离子体直流悬浮电位的变化呈现多样性.