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物理学报 2009
Performance analysis of the substrate-free focal plane array in infrared imaging
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Abstract:
利用提出的光学读出非制冷红外成像系统，先后制作了单元尺寸各不相同的单层膜无基底焦平面阵列(focal plane array，FPA)，获得了室温物体的热图像.分析发现，当FPA的单元尺寸从200μm逐渐减小到60μm时，基于恒温基底模型的理论响应与实验结果的偏差逐渐增大.通过有限元分析方法，模拟分析了不同尺寸的微梁单元在无基底FPA中的热学行为，发现了当单元尺寸逐渐减小时恒温基底模型偏差逐渐增大的原因，即无基底FPA的支撑框架不满足恒温基底条件，受热辐射后支撑框架的温升从基底上抬高了单元的温升.论文还分
