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ISSN: 2333-9721
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物理学报  2005 

Study on surface modification of polytetrafluoroethylene by N+ ion implantation
N+离子注入聚四氟乙烯表面改性研究

Keywords: ion implantation,polytetrafluoroethylene,surface modification
离子注入,
,聚四氟乙烯,,表面改性

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Abstract:

在剂量为1×1014—1×1017ions/cm2的范围内,在不同的温度条件下,用 能量为160keV氮离子对PTFE表面进行注入处理,处理后的样品用可见(514.5nm)和傅里叶红 外(1064nm)拉曼(Raman)光谱以及扫描电镜和x射线能谱仪进行检测.实验结果表明低剂量注 入可以增强PTFE晶体结构的取向和有序性;中等剂量时溅射损失效应明显,表面粗糙度加大 :高剂量注入时微观结构强烈地变化并生成CC双键,导致表面碳化.另外温度对表面改性效 果有很大的影响.刻蚀率和表面的微观结构的变化随着温度的升高而增强.离子注入前,用喷 射技术使样品覆盖一层150nm的金膜,薄膜的黏结性和硬度用划痕和透明胶带测试配合扫描 电镜进行分析.分析结果表明,黏结性在注入剂量为1014ions/cm2时明显增强,这 个结果与表面亲水性测量结果是一致的.但表面硬度只在温度为180℃时才得到了增强.

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