Structures and dielectric properties of (Ba0.7Sr0.3)TiO3/LaNiO3 hetero-structure films prepared by sol-gel technique
溶胶-凝胶法制备(Ba0.7Sr0.3)TiO3/LaNiO3异质薄膜及其结构和介电性质研究

采用改进的溶胶-凝胶方法在单晶Si(100)衬底上制备了介电性能优异的(Ba0.7Sr0.3)TiO3/LaNiO3异质薄膜.实验发现，在750 ℃下 、O2气氛中晶化的LaNiO3薄膜的电阻率最小.C-V与I-V特性测量表明(Ba0.7Sr0.3)TiO3薄膜具有优异的介电性能，在频率为50kHz、零偏压下的相对介电常数εr>300，偏压为6V时漏电流密度JL<1.2×10-6A/cm2.