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ISSN: 2333-9721
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物理学报  2005 

Generation and detection of terahertz radiation on reactive ion etched ZnTe surfaces
反应离子刻蚀ZnTe的THz辐射和探测研究

Keywords: THz radiation,reactive ion etched,ZnTe
THz辐射,反应离子刻蚀,ZnTe

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Abstract:

运用电光采样技术揭示了反应离子刻蚀(RIE)ZnTe晶体表面THz辐射的光学整流产生机制, 观察到0.25 ps的THz场分布.通过比较刻蚀前后以及不同刻蚀条件下ZnTe样品在不同激发功 率下的THz辐射强度,发现由于反应离子刻蚀破坏了ZnTe样品表面的有序性,晶体的电光系 数随射频功率的增加而减小.借助于计算不同刻蚀条件下ZnTe晶体的频率响应函数,分析了 随射频功率增加ZnTe晶体响应频谱展宽的现象.

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