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Keywords: magnetic tunneling junction,X-ray photoelectron spectroscopy,tunneling magneto resistance磁性隧道结,,X射线光电子能谱,,隧道结磁电阻
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用离子束溅射方法制备磁性隧道结(MTJ). 研究MTJ样品的隧道结磁电阻(TMR)效应.用X射线 光电子能谱分析了MTJ的软、硬磁层和非磁层及其界面的化学组成与微结构.研究了MTJ的微 结构对氧化铝势垒高度与有效宽度和TMR效应的影响.
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