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ISSN: 2333-9721
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物理学报  1999 

VARIOUS HYSTERESIS LOOPS AND MULTISTABILITY ON OUTPUT CURVES OF TUNABLE EXTERNAL CAVITY SEMICONDUCTOR LASERS
化学气相沉积法制备金刚石膜截面微区Raman分析

Keywords: 化学气相沉积,金刚石,薄膜,微区分析

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Abstract:

采用微区Raman散射分析方法研究化学气相沉积法制备的金刚石膜的横截面.金刚石膜从衬底面到生长面不同位置具有不同特征的Raman谱,依此对膜中的金刚石、石墨和非晶碳成分进行分析.衬底面附近区域对应金刚石膜生长过程的成核阶段,非晶碳成分含量较高,相应于1200—1600cm-1波段较大的散射强度和存在较强的荧光背底.膜厚增大,非晶碳成分中sp3结构成分首先减少,而sp2结构成分和石墨成分的减少相对缓慢.而生长面附近区域只有比较单纯的晶体金刚石

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