CRITICAL CRACKING AND DAMAGE MODE OF TITANIUM NITRIDE FILMS
悬臂梁弯曲法研究氮化钛薄膜临界开裂行为与损毁机理

本文提出并设计了悬臂梁弯曲实验法用来研究物理汽相沉积薄膜分别受拉和受压状态下变形和开裂行为,声发射技术被用来监测薄膜的开裂或剥落从而确立薄膜临界开裂的判据。对钛基氮化钛薄膜体系研究结果表明,薄膜处于受拉和受压状态下临界开裂载荷值分别为800gf和1285gf。还结合薄膜的强度极限或界面结合强度研究了薄膜在两种服役情形下的损毁机理。