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ISSN: 2333-9721
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物理学报  2000 

STUDY ON SEMICONDUCTING YBCO THIN FILM AND CHARACTERISTICS OF BOLOMETER
YBCO半导体薄膜及Bolometer特性

Keywords: semiconducting YBCO thin film,bolometer,temperatue coefficient of resistance
YBCO半导体薄膜,测辐射热计,温度电阻系数

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Abstract:

就Si为衬底的钇钡铜氧(分子式:Y1Ba2Cu3O7-δ ,δ≥05,简称YBCO)薄膜的半导体性质,及用于红外测辐射热计(Bolometer)的探 测性能进行了研究.通过测定温度电阻系数(TCR)和霍尔(Hall)系数,并采用XRD、拉曼散射 光谱等手段分析了YBCO半导体薄膜的微观结构和光谱响应特性,认为该薄膜是非制冷红外焦 平面的新型探测元材料.

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