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ISSN: 2333-9721
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物理学报  1992 

A STUDY OF ZINC DIFFUSION IN ION-IMPLANTED POLYCRY-STALLINE ALUMINIUM
Zn离子注入多晶Al的扩散研究

Keywords: 锌离子,离子注入,扩散,金属,

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Abstract:

用离子注入技术制备Zn-Al扩散偶,在注入浓度小于溶解度的条件下,本文提出杂质原子在基体单相中扩散的理论模型。应用数值分析方法对这一模型求解,得到与实验相符的杂质原子扩散分布;利用离子注入产生的增强扩散现象,还求出沉积法难以得到的260—380℃温区内Zn原子在多晶Al中的扩散系数,弥补了传统方法的不足。

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