一种新的反应机制——轻稀土金属薄膜与Si衬底的反应机理研究

以La,Ce为例对轻稀土金属与Si的薄膜反应机理进行了研究。在超高真空(UHV)下,用电子束蒸发制备样品,继之以恒温电阻炉退火,并利用俄歇深度分析、X射线衍射和二次离子质谱等手段对各种等温或等时退火样品进行了分析。发现在200—400℃范围内,轻稀土金属与Si的薄膜反应存在极限,且这一极限不是稳定的化学相。文中提出一种反应模式,并以此导出反应机制,解释了实验结果。