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ISSN: 2333-9721
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物理学报  1994 

LOCALIZATION OF THE COMPONENT ATOM DEPTH-PROFILES IN Al-Sn ALLOY SURFACE LAYER
Al-Sn合金表面元素深度分布的局域性

Keywords: e H

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Abstract:

利用微束卢瑟福背散射能谱(M-RBS)分析方法,对Al70Sn30合金表面的两种微相区(Al富集相区和Sn富集相区),在27keVAr+离子轰击(总剂量为1.4×1018Ar+/cm2)前后,分别测定了Sn原子的深度分布。实验结果表明,在Al富集相区和Sn富集相区之间,以及各相区在离子溅射前后,Sn原子浓度深度分布曲线是不相同的。

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