X射线发射深度分布φ(ρz)计算与电子探针定量分析

本文利用Monte Carlo方法和修改了的原子散射总截面公式,计算了在合金中产生X射线的深度分布φ(ρz),并用于电子探针定量分析。对12种二元合金、一种三元合金和碳化硅中的碳作了计算,结果比ZAF方法和Shimizu方法好。尤其对碳的计算结果比ZAF方法更好,表明本文的计算方法用于轻元素定量分析是可行的。