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目前常用的高灵敏度电子顺磁共振波谱仪多采用高频调场式和外差式。这二种波谱仪的结构都较为复杂。1957年A.C.Pose—Innes利用调频的方法制成了较高灵敏度的波谱仪,由于不需要稳频系统,所以部分地简化了波谱仪的结构,但是接收系统仍然是外差式的,所以从波谱仪整个结构来看仍较为复杂。
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