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本文简单叙述了扫描光声显微镜的原理、应用、发展以及我们现阶段的研制成果,光声信号可以用振幅或相位接收的方式成象,分辨率达到4.5μm,从已获得叉指换能器,集成电路以及材料亚表面结构等样品的光声象可以说明这种显微镜技术在固体物理、材料科学,甚至医学上均具有重要的应用前景。
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