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物理学报 1982
TEMPERATURE GRADIENT LIQUID PHASE EPITAXY UNDER A STEADY NATURAL CONVECTION FLOW
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Abstract:
介绍了稳定自然对流下的温度梯度液相外延,稳定自然对流由加在溶液上的水平温差产生,用简化模式计算了该生长的生长速率,计算给出:该生长的生长速率与水平温差的平方根成比例;具体对Ga0.85Al0.15AS生长,在本工作给定的条件下,生长速率为稳态扩散理论预示生长速率的1124倍,在大部份生长面积内,外延层的厚度变化小于平均厚度的±10％,设计了稳定自然对流下的温度梯度液相外延装置,用该装置生长了厚Ga1-xAlxAs层,实
