复合浸没物镜的电子光学性质和像差理论

浸没物镜系统包括了许多种用途很广的电子光学仪器。本文研究了具有平面阶极的复合浸没物镜(并考虑了阶极上磁场强度不为零的情形)。本文中推导了复合浸没物镜线性方程和横向像差方程,从而求出了总的三极横向像差和各个特殊形式的像差系数,最后将结果化成为简正形式。这样就可以严格地讨论复合浸没物镜的电子光学性质和像差。