表面等离子体在氧化镓基紫外探测器中的应用

局域表面等离子体共振是一种改善光电探测器性能的有效方法。本文为了提高beta-氧化镓(β-Ga2O3)薄膜金属-半导体-金属(MSM)日盲紫外探测器的性能，提出了在beta-氧化镓薄膜表面利用快速热退火的方法形成分散的铝纳米粒子(Al-NPs)，增强薄膜对光的吸收。运用此方法制备的Al-NPs/β-Ga2O3探测器不仅降低了暗电流，同时也提升了光响应度和探测率。在波长254 nm紫外光照、10 V偏压下，该器件的光响应度达到了2.7 A/W，探测率达到了1.35×1014 cm·Hz1/2·W-1，与β-Ga2O3探测器相比，分别提升了1.5倍和2倍。