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ISSN: 2333-9721
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-  2011 

硅薄膜的恒电位诱导组装法制备及光学性能

Keywords: 恒电位诱导组装法,硅薄膜,光学性能,SiOx

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Abstract:

本文采用恒电位诱导组装法,在40℃、2.5V恒电位条件下,在FTO导电玻璃上制备出硅薄膜,并分别通过循环伏安曲线(CV)、红外光谱仪、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见分光光度计和荧光光谱仪对硅薄膜的生长条件、结构、形貌和光学性能进行了系统研究。结果表明,只有当溶液中用于模板剂的十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)的浓度高于其临界胶束浓度并且在一定的正硅酸四乙酯(TEOS)浓度时,才可以得到岛粒状的硅薄膜。由荧光光谱可知,组装成的硅薄膜经过焙烧,可生成氧缺位的SiOx薄膜,其中x≤2。由于氧缺位,在3.8 eV光的激发下有2.5 eV的光致发光

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