超高分子量聚乙烯表面金属化及类金刚石薄膜沉积复合处理研究
Keywords: 超高分子量聚乙烯,金属化,类金刚石薄膜,硬度,耐磨性
Abstract:
本文采用超高分子量聚乙烯(UHMWPE)表面金属化及类金刚石薄膜沉积复合处理工艺，提高超高分子量聚乙烯的耐磨性。首先采用磁过滤阴极真空弧源沉积技术(FCVA)在UHMWPE表面制备约30nm钛金属层，使UHMWPE表面金属化，然后再沉积DLC薄膜，研究结果表明，UHMWPE表面金属化后，DLC薄膜沉积过程中，电荷累积效应消除，使DLC薄膜的沉积速率、sp3键含量、硬度、耐磨性提高
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