非蒸散型薄膜吸气剂的研究现状及应用进展
DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2018.05.009
Keywords: 非蒸散型吸气剂薄膜,Zr-Co系,研究现状,应用进展,发展趋势
Abstract:
非蒸散型吸气剂薄膜是超高或极超高真空系统获得和维持真空条件的重要材料,近年来吸气剂广泛应用于MEMS真空封装领域。综述了非蒸散型吸气剂的材料体系、研究现状和工程应用,介绍国内外吸气剂薄膜的研究现状、存在的主要问题及发展趋势。讨论了吸气剂在MEMS真空封装系统的工作原理,传统吸气剂在封装领域的挑战,薄膜吸气剂在封装系统遇到的问题和发展趋势
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