晶粒尺寸对FeS2薄膜微应变及光吸收特性的影响

摘要： 采用不同厚度的Fe膜在673K热硫化20h 制备出具有不同晶粒尺寸的FeS2薄膜, 分析并测定了薄膜组织结构、微应变及光吸收性能. 结果表明, Fe膜硫化形成的FeS2薄膜厚度在120～550nm范围内变化时, 可导致平均晶粒尺寸在40～80nm之间变化. FeS2晶粒尺寸的变化造成了晶体面缺陷密度的变化, 可引起微观内应力水平、缺陷能级分布和晶界势垒高度的变化, 进而使得薄膜的微应变、点阵畸变度、光吸收系数及禁带宽度等物理特性随晶粒尺寸的增加而降低.