氧气-乙炔火焰法在Al2O3陶瓷上沉积金刚石薄膜

摘要： 用氧气-乙炔火焰法在氧化铝陶瓷片上沉积出了金刚石薄膜，并观察了薄膜的形貌结构及其在基片上的分布规律．对基片进行适当的预处理，可以提高金刚石薄膜在基片上的成核密度．认为氧化铝陶瓷片与沉积金刚石薄膜之间易形成过渡层，初步探讨了在氧化铝陶瓷片上沉积金刚石薄膜的机理．