Ba(Zr0.15Ti0.85)O3厚膜的介电与铁电性能研究

摘要： 本研究采用流延法制备Ba(Zr0.15Ti0.85)O3(BZT)厚膜样品。采用扫描电子显微镜分析样品形貌; 采用LCR测试仪和Sawyer-Tower电路法测量样品的介电与铁电性能。结果表明, BZT厚膜具有明显的介电弛豫特征, 击穿电场强度可达60 kV/cm以上, 饱和极化强度可达58.1 μC/ cm2, 剩余极化强度(Pr)为20.9 μC/ cm2。