氟化镁基底上HfO2中间层对Al2O3薄膜微观组织和力学性能的影响

摘要： 采用电子束蒸镀技术在氟化镁基底上制备了单层Al2O3薄膜和含有HfO2中间层的HfO2/Al2O3双层薄膜。在空气中对所制备的薄膜进行1 h 600℃的退火处理。通过掠入角X射线衍射仪(GIXRD)、场发射扫描电镜(FE-SEM)、傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)、纳米压痕和划痕法对薄膜的微观结构、红外透过率和力学性能进行了表征。结果表明: 退火处理后HfO2/Al2O3双层薄膜中形成了一层树枝状的新层, 这种新层的硬度大于17.5 GPa。这种高硬度的新层能够保护氟化镁基底不被划伤。从GIXRD图谱中只能找到单斜相HfO2的衍射峰, 而Al2O3薄膜仍然保持非晶态。从这些结果中可以推断出HfO2从非晶态向单斜相的转变促进了这种树枝状新层的产生, 也正是这种新层提高了保护薄膜的力学性能。