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ISSN: 2333-9721
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-  2002 

液相电沉积类金刚石薄膜的相关物理化学问题

Keywords: DLC薄膜,液相电沉积,碳源,反应机理

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摘要: 利用液相电沉积技术制备了含氢类金刚石薄膜(DLC);讨论了应用电位和沉积碳源对沉积过程和薄膜结构的影响;结果表明有高介电常数、低粘度、分子中甲基基团直接与极性基团键合的有机液体是合适的沉积碳源;通过增加沉积电位将有利于薄膜中sp3碳的生长;最后,作者提出了液相沉积类金刚石薄膜的反应机理-极化-反应机制,在电场的作用下,有机分子被极化并在电极表面反应生成DLC薄膜和其他产物.

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