利用激光刻蚀技术提高Ba0.5Sr0.5Co0.8Fe0.2O3-δ膜的透氧能力

摘要： 利用激光刻图机对Ba0.5Sr0.5Co0.8Fe0.2O3-δ(BSCFO)透氧膜表面进行刻蚀，以提高膜表面的比表面，改善膜的氧表面交换能力，从而达到提高透氧量的目的。研究结果表明，激光刻蚀在膜表面形成宽150μm，深25μm的条纹，可以显著提高膜表面的比表面积。XRD谱显示，激光刻蚀不会引起 BSCFO相结构的变化。透氧量测试表明，激光刻蚀可以增大透氧量，十字交叉双面刻蚀效果更加显著。十字交叉双面刻蚀后，其透氧量比未用激光处理的样品提高了大约34%。