底电极对bifeo3薄膜电性质的影响

？用溶胶-凝胶方法在lanio3，ito和pt底电极上制备了bifeo3（bfo）薄膜。薄膜的退火温度为550℃。对不同底电极上的bfo薄膜的结构、形貌、铁电性、介电性和漏电流特性进行了研究。xrd研究表明不同底电极上的bfo薄膜呈不同的取向。所有的薄膜都没有观察到不纯相。剖面扫描电镜研究表明薄膜的厚度为350nm。铁电性测试表明在128kv/cm的测试电场下lanio3底电极上的薄膜的剩余极化强度最大，为3.31μc/cm2。而ito和pt底电极上的bfo薄膜的剩余极化强度分别为2.07μc/cm2与2.76μc/cm2。此外，漏电流的研究表明在ito底电极上的bfo薄膜的漏电流最小。