sol-gel法制备al_2o_3复合膜的epma研究

？研究采用sol-gel法成功地制备了一种新型的al2o3-sio2-tio2-zro2复合陶瓷膜,其膜面平整,无宏观缺陷。利用电子探针微区分析(epma)重点研究了膜的表面和膜与基体界面的化学成分及微观结构。并分析了修饰物添加剂对膜的形貌和性能的影响。结果表明tio2、sio2、zro2掺杂对al2o3膜起到了良好的修饰作用。