偏置电压对电容式微机械加速度计的影响研究

？分析了偏置电压对系统的影响，重点研究不同偏置电压设置对电容加速度计的影响，得到一系列变化曲线。最后指出偏置电压极性为正？负设置时，加速度计承受冲击的能力最强。