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天津大学学报(自然科学与工程技术版) 2004
微面形貌光电观测系统的光学结构, PP. 733-736 Abstract: 针对微小面积,特别是微小"盲孔"底面形貌的非接触精密检测,提出了一种基于直接成像原理的光学结构.采用内窥式镜头解决数值孔径受限问题;通过定变焦距镜头组合达到低倍定位和高倍分析要求;利用光学微扫描器实现扫描瞄准功能.针对fc、sc光纤连接器构造设计,探测头可深入内径2.5mm盲孔,设计分辨率达到600p/mm,主要应用于光纤端面检测、精密制造和临床诊断等领域.
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