溶剂热法制备铝掺杂的氧化锌透明导电薄膜

采用溶剂热法在玻璃基片上沉积铝掺杂的氧化锌透明导电膜(azo)。研究了前驱溶液中al3+与zn2+的物质的量的比nal3+/nzn2+、溶剂热反应温度和反应时间对薄膜物相、形貌、可见光透过率和电阻率的影响。结果表明，溶剂热法所制备的azo薄膜具有六方纤锌矿结构，al3+不仅改善薄膜的导电性而且起矿化剂的作用促进薄膜生长，溶剂热反应时间的增加没有使薄膜显著增厚。采用溶剂热法可制备出可见光平均透过率大于80%、方块电阻小于500ω的azo薄膜。