等离子体聚合成膜中的活性粒子模拟分析

针对等离子体聚合成膜实验中的活性粒子的能量及空间分布问题,运用电磁场理论和montecarlo方法模拟分析氢、氧、氮直流辉光放电等离子体中的活性粒子的运动,得出其能量分布图和空间密度分布图,并与离子活性能量范围相比较,从而得出结论:在氢、氧等离子体中有足够多的活性离子可以参与和单体分子的物理化学反应,成膜较快；在氮等离子体中,达到活性粒子能量范围的离子相当少,成膜较慢.